德國ADL單極脈沖發(fā)生器SD 30與直流電源結合使產生帶有反向的單極脈沖

一、產品概述

單極脈沖發(fā)生器用于電弧臨界和部分反應過程高質量和可復制的涂層

直流電源（HX、GX / GS）可通過接口X4P與單極脈沖發(fā)生器（SD）組合。因此，涂布設備可以使用直流或單極脈沖非常靈活地運行。在“主/從”或并聯(lián)作中，多個電源的同步功率可達 240 kW。脈沖發(fā)生器的緊湊 1/2 19“ 設計使直接安裝在真空室中成為可能！與所有 ADL 電源一樣，脈沖系統(tǒng)無需維護，極少發(fā)生故障，并且后續(xù)成本極低，性價比競爭力。

二、單極脈沖發(fā)生器應用

直流+單極脈沖Generators_012022的組合 （440.03 KB）

ADL 單極脈沖系統(tǒng)是部分氧化過程濺射的選擇。單極脈沖與金屬靶材部分反應或與陶瓷靶材呈亞化學計量，通過極低的電弧能量，有助于避免室壁或陽極的鈍化增加，從而有助于涂層過程的穩(wěn)定。

直流和單極脈沖發(fā)生器的組合用于生產 OLED，或用于大平面屏幕或特殊裝飾和硬涂層的 LCD。

三、產品特性

具有低導電目標的廣泛濺射應用

對半氧化靶標（例如 TiOx、NbOx）具有出色的過程控制能力

對 AZO 等電弧關鍵靶材進行穩(wěn)定加工

單極全反應涂層工藝，例如 SiO2四3O4人工智能2O3

與直流相比，涂層形貌得到改善

四、產品介紹

單極脈沖發(fā)生器 SD 30 - SD 300

高達 30 kW

與 ADL 直流電源結合使用，脈沖發(fā)生器可產生單極脈沖。脈沖發(fā)生器以 20 kHz 的固定頻率工作。因此，使用外部信號發(fā)生器，該頻率可以在 1 kHz 到 40 kHz 之間變化。脈沖發(fā)生器配備了自動電弧抑制功能。跳閘水平和休息時間的參數(shù)會根據(jù)特定過程自動調整。完全不需要用戶編程。為了實現(xiàn)自動同步，可以通過控制電纜連接多個發(fā)電機。在這種情況下，脈沖發(fā)生器會自動切換到外部同步。

性能參數(shù)：

輸出功率 3 kW、15 kW、

30 kW

并聯(lián)運行，功率高達 240 kW

自動電弧處理

風冷

緊湊型設計，1/2 19“ - 3

浮動輸出